시스템 개요
반도체 열특성 평가를 위한 칩 Calibration 시스템
프로그램
▪ Calibration을 위한 Oil Bath 제어(RS232)
▪ 디바이스 설정 정보 Group 형태로 저장
▪ Auto/Manual 모드 선택
▪ Calibration 데이터 그래프 or 테이블 형태로 확인
▪ Calibration Table 생성 및 결과 값 저장
Semiconductor Calibration 시스템 Main 화면
Semiconductor Calibration 시스템 Multi-Channel 화면
디바이스 설정 화면